Télécommunications et Microtechnologies

Responsable de l'UE : Emlie CARRY

Objectifs

- micro-fabrication en salle blanche et caractérisation de microsystèmes

- établissement d’un procédé de fabrication pour microsystème sur silicium

- maitrise des concepts de CAO de masque de photolithographie (placement de motifs d’alignement, hiérarchisation de structures, polarité, synthèse automatique…) et d’un outil de dessin de masque professionnel (Cadence)

- description et modélisation physique des signaux dans les systèmes de communication et de traitement du signal optique et micro-onde

 - exemples pratiques d'instruments et de systèmes en télécom optique et micro-onde

Pré requis

 -Optique géométrique / Équations de Maxwell

- Électrocinétique et éléments de base des composants semi-conducteurs

- Notions de base sur les ondes/ Théorie du signal

Contenus

EC1 : Microtechnologie en salle blanche (mutualisé M2E2 et NANO) Introduction générale aux techniques de micro-fabrication 2D et 3D : prototypage rapide et micro fabrication collective.

 Présentation de la salle blanche (caractéristiques et contraintes)

Méthodes de dépôts conventionnelles :

Dépôts physiques, chimiques et électrochimiques, et Oxydation thermique et électrodéposition. Méthodes de gravure (sèche et humide) Lithographies classiques et non conventionnelles (résine positive, lift off, technique LIGA)

TP : Dessin de masque de photolithographie, concept de « design rules »

Fabrication d’un microsystème en salle blanche (lithographie, lift off, techniques de dépôt et gravure, caractérisation au microscope et profilomètre). compensatrice, modulateurs…

EC2: Télécommunications Optiques Approche physique de la notion de modes guidés (équations de Maxwell). Dispersion optique dans les fibres : vitesse de groupe et de phase, dispersion intermodale et modale.

Les éléments de base d’une ligne de transmission optique (émetteurs, modulateurs, récepteurs).

Les fibres optiques : structure, modes de propagation, ouverture numérique, atténuation optique, fabrication des fibres. Autres éléments des lignes de transmission optiques (isolateur, EDFA, switch, circulateurs , ..).

EC3 : Micro-ondes Propagation guidée : Introduction et utilisation des paramètres S. Principales utilisations des signaux microondes, ainsi que leurs caractéristiques.

Etude et caractérisation de composants passifs, actifs et à caractéristiques non-linéaires.

Lignes micro-rubans. Représentation des modes de propagation dans des guides d’ondes ainsi que dans des cavités. Présentation des principaux résonateurs micro-ondes en introduisant les phénomènes de couplages.